二次资源利用让难熔金属“熔炉中重生”( 二 ) ：二次资源利

“通过应用基础研究与产业化，项目组打通了从回收废料，到电子级WF6气体、超高纯度钨零部件等产品的全链条产业化技术，突破了WF6高效氟化制取及纯化，高纯度钨靶材、钨加热体、异型钨坩埚的常压化学气相沉积制造，基于尾气利用的高纯度超细钨粉等离子化学法制备，副产物HF的F2/NF3和H2电解制取及其在WF6的制取和还原中的应用等关键技术。 ”该项目组负责人北京理工大学教授谭成文说。

历经约10年努力，项目组研发出高纯WF6、超高纯钨靶材、离子注入机用高纯钨部件、高性能钨加热体、高纯异型钨坩埚等系列高端产品。

谭成文说，其中，高纯WF6纯度达99.999% ，满足了半导体行业对于特种气体的高纯度要求，在英特尔、东芝、台积电、中芯国际等国内外知名半导体企业获得广泛应用，国内市场占有率80% ，国际市场占有率近25% ，仅3年时间即实现单一产品年产值过亿元，利润率大于20% 。随着技术不断改进，产品在相关企业的用量大幅提高，打破国外垄断。超高纯钨靶材、离子注入机用高纯钨部件、钨加热体、异型钨坩埚纯度达99.999999% 。（采访人员马爱平）