美国要求荷兰首相叫停向中国出口光刻机

【文/观察者网 郭涵】为了阻止荷兰半导体巨头阿斯麦尔(ASML)向中国公司出售光刻机的一笔1.5亿美元交易 , 这届美国政府可谓操碎了心 。 去年6月 , 国务卿蓬佩奥就在访问荷兰期间要求盟友站队 。 知情人士向路透社透露:蓬佩奥当时要求荷兰首相马克·吕特阻止这笔交易 , 美国官员至少在四次会议中向荷兰官员施压 。 7月吕特访问华盛顿时 , 美国副国家安全顾问库伯曼又给他一份情报报告 , 大谈“中国获得光刻机的可能后果” 。 随后 , 荷兰政府选择不续签ASML的出口许可 。

美国要求荷兰首相叫停向中国出口光刻机

知情人:特朗普政府强力施压荷兰取消向中国出售芯片设备 路透社 1月6日 , 路透社在报道中援引三名匿名知情人士称 , 特朗普政府为“搅黄”ASML公司向中国公司出口极紫外光刻机(EUV)设备 , 从2018年起就开始对荷兰政府广泛施压 。 ASML是世界上最重要的半导体供应商 。 光刻机则是半导体生产制造环节最重要的核心部件 , 其关键技术一直被ASML公司垄断 。 EUV光刻机则是该公司最先进的设备 。 2018年 , 荷兰政府向ASML发放了出口许可证 , 允许其向一家中国公司出口一台EUV光刻机 , 价值1.5亿美元 。

美国要求荷兰首相叫停向中国出口光刻机

ASML公司员工正组装一台半导体光刻机 图自:路透社 下同 三名知情人士称 , 美国立即“盯上了”这笔交易 。 接下来的几个月里 , 美方官员至少四次与荷兰官员开会 , 讨论可否直接封杀这笔交易 。 按照美国的出口管理条例 , 任何外国公司在向中国出口商品时 , 只要美国制造的零件占到25%价值 , 就必须向美国寻求出口许可证 。 消息人士说 , 美国商务部对这台出口光刻机进行了审计 , 却发现美国零件的价值占比不到25% , 不符合管理条件 。 而且从商业角度考虑 , ASML公司希望也推进这笔交易 。 2018年 , 来自中国公司订单占据其营收总额近20% , 超过美国公司的16% , 仅次于韩国公司35% 。 一计不成 , 特朗普政府只好以“国家安全”理由向荷兰施压 。 光刻机被列入涉及军民两用技术产品出口的《瓦森纳协议》 , 荷兰也是签署国之一 。 为此 , 2018年12月至2019年1月 , 美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的“安全风险” 。 去年6月 , 美国国务卿蓬佩奥访问荷兰 , 一边炒作中国“贸易不公”、5G的“安全问题” , 一边要求荷兰等盟友站队 。

美国要求荷兰首相叫停向中国出口光刻机

蓬佩奥去年6月访问荷兰时要求盟友“站队” 他在采访人员会上说:“我们的要求是 , 我们的盟友、伙伴和朋友不要做任何危及我们共同安全利益 , 或限制我们分享敏感信息能力的事情 。 ” 虽然没有明确提到光刻机 , 但知情人士称 , 蓬佩奥在与荷兰首相吕特会面中要求阻止这笔交易 。 后者在采访人员会上回应 , 虽然荷兰想要与盟国保持政策一致 , 但“每个国家都必须做出自己的安全决定” 。 7月18日 , 吕特访问华盛顿 , 期间白宫副国家安全顾问查尔斯·库伯曼向他展示一份情报报告 , 内容是所谓“中国获得光刻机的可能后果” 。 早在6月30日 , ASML的许可证就已到期 , 通常需要8周时间进行审批及续签 。 但路透社称 , 吕特访问过后不久 , 荷兰政府决定不再续签这份许可证 。 ASML未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上 。 荷兰首相府发言人拒绝对此置评 , 称政府不会讨论单独的许可证案例 。 白宫以及库伯曼也没有回应置评 。

美国要求荷兰首相叫停向中国出口光刻机

荷兰首相马克·吕特 11月6日 , 《日本经济评论》最先报道了相关交易因许可证问题被推迟发货的消息 , 并认为ASML成为美国政府压力下的“牺牲品” 。 公司发言人摩尔斯回应 , “延迟发货”仅为媒体猜测 , 已经申请了新的许可证 , 仍在等待获批 。 “公司遵守的法律 。 法律说你需要许可证才能出口EUV , 我们已经申请了许可证 。 ” 但不论有没有EUV光刻机 , ASML预计2020年向中国出售其他产品 , 销售额会继续增长 。 路透社评论 , 此事显示白宫对于阻止中国获得先进芯片制造能力有多么重视 , 也证明美国政府试图单方面限制对中国出口先进技术时 , 面临着多么大的挑战 。 观察者网专栏作者余鹏鲲曾提到 , 西方国家限制向中国出口光刻机 , 是我国境内半导体工艺制程始终比境外落后1-2代甚至3代的主要原因 。 去年4月 , 武汉光电国家研究中心甘棕松团队 , 采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制 , 采用远场光学的办法 , 光刻出最小9纳米线宽的线段 。 该样机实现了材料 , 软件和零部件等三个方面的国产化 , 打破了三维微纳光制造的国外技术垄断 。


推荐阅读