「胖福的小木屋」但却面临更大难关,中国将拥有另一个台积电?中芯搞定7nm工艺( 二 )

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不过 , 对于攻克了7nm工艺的中芯而言 , 接下来如果顺利实现量产 , 那么最大的问题将摆在眼前——EUV光刻机 , EUV光刻机是当前最先进的光刻机 , 是唯一能够生产7nm以下制程的设备 , 因为它发射的光线波长仅为现有设备的十五分之一 , 能够蚀刻更加精细的半导体电路 , 所以EUV也被成为“突破摩尔定律的救星” 。
因为刚刚说了 , 7nm节点一共发展了三种工艺 , 前两代工艺不需要EUV光刻机 , 只有N7+工艺上才开始用EUV工艺 , 不过光罩层数也比较少 , 5nm节点寸是充分利用EUV光刻工艺的 , 达到了14层EUV光罩 。
而目前因为美国的阻挠 , 中芯国际花费1.2亿美元购买的EUV光刻机迟迟没有到货 , 巧妇难为无米之炊 , 这也将成为中芯国际最大的难关之一 , 能否拥有ASML的EUV光刻机 , 将直接关系到中芯国际是否拥有先进的制程工艺以及量产能力 。

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要知道 , 全球仅ASML掌握EUV光刻机技术 。 而光刻机的研发难度实在是非常高 , 中国花费了十几年也还没有突破45nm 。
除此之外 , 还有就是产能的问题 , 中芯国际14nm工艺现在最重要的问题还是产能 , 主要是在上海的中芯南方12英寸晶圆厂生产 , 去年底也就生产了1000片晶圆左右 , 产量很低 。
根据中芯国际联席CEO梁孟松的说法 , 14nm月产能将在今年3月达到4K , 7月达到9K , 12月达到15K 。
但不管怎么样来说 , 中芯能够在国外的打压之下取得如此卓越的成绩还是非常难得的 , 中芯国际联合CEO赵海军博士在2019中芯国际技术研讨会上表示 , 中芯国际要做快速跟随者 , 要做第二梯队的第一名 。 他指出 , 市场上主要有引领者、挑战者、跟随者和利基者四个角色 , 而中芯国际要做快速的跟随者 , 要做第二梯队的第一名 。
【「胖福的小木屋」但却面临更大难关,中国将拥有另一个台积电?中芯搞定7nm工艺】希望中国半导体产业可以加速发展 , 做到自产自研 , 满足国内需求 。

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