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「光刻机」荷兰阿斯麦为何能扼住芯片产业链咽喉？垄断高端EUV光刻机市场


「光刻机」荷兰阿斯麦为何能扼住芯片产业链咽喉？垄断高端EUV光刻机市场
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作为国内最大最先进的晶圆代工厂 ， 中芯国际SMIC在疫情疫情期间依然没有停产 ， 同时还在扩大14nm等先进工艺产能 。 日前羊城晚报报道称 ， 中芯国际进口的荷兰ASML光刻机顺利入厂 。 报道没有提及中芯国际购买的光刻机的详情 ， 不过肯定可以排除最新的EUV光刻机 ， 现在进口的应该还是193nm波长的DUV系列光刻机 。
光刻机对中芯国际等国内厂商来说 ， 为什么如此重要？进口一台光刻机为什么如此引人注目？原因在于光刻机在芯片制造中异常重要 ， 同时制造业具有很高难度 ， 一直处于产业链风口浪尖的位置 。 光刻机单价是极高的 。 由于光刻机涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术 ， 是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备 ， 因此也具备极高的单台价值量 。 目前最先进的EUV设备在2018年单台平均售价高达1.04亿欧元,较2017年单台平均售价增长4% 。
光刻技术指利用光学-化学反应原理,将电路图转移到晶圆表面的工艺技术,光刻机是光刻工序中的一种投影曝光系统 。 其包括光源、光学镜片、对准系统等 。 在制造过程中,通过投射光束,穿过掩膜板和光学镜片照射涂敷在基底上的光敏性光刻胶,经过显影后可以将电路图最终转移到硅晶圆上 。
「光刻机」荷兰阿斯麦为何能扼住芯片产业链咽喉？垄断高端EUV光刻机市场
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目前市场上主要的光刻机供应商有荷兰的ASML、日本的NIKON和CANON ， 以及中国大陆的上海微电子装备(SMEE) 。 上海微电子是国内光刻机领军者 ， 其IC前道光刻机可以实现90nm制程 ， 未来有望逐步实现技术突破 。 光刻机采购节奏是内资产线资本支出的关键信号 。 内资产线一般会优先采购价值量和技术难度最高的光刻机 。 内资产线在19Q4至今光刻机合计采购量可观 ， 预示2020年内资产线资本支出将进一步提升 。
FPD产能向大陆转移 ， 本土厂商切入FPD光刻机市场 。 国内FPD产能全球占比持续提升 ， 预计2020年将提高至52％ 。 尼康、佳能基本垄断了FPD光刻机市场 ， 目前国内厂商上微4.5代TFT投影光刻机已经进入产线 ， 未来将进一步发展6代及6代以产品 ， 切入主流厂商供应 。
垄断高端光刻机市场的ASML是一家荷兰公司 ， 荷兰ASML公司 (全称： Advanced Semiconductor Material Lithography ， 目前该全称已经不作为公司标识使用 ， 公司的注册标识为ASML Holding N.V) ， 中文名称为阿斯麦尔 。
这是一家总部设在荷兰艾恩德霍芬（Veldhoven）的全球最大的半导体设备制造商之一 ， 向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备 。 ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市 。 2019年10月 ， 位列2019福布斯全球数字经济100强榜第50名 。
最先进的7nm制程的EUV光刻机只有ASML一家公司可以生产 ， 再无第二家 ， 如果想要生产最先进的芯片 ， 就必须要和它合作 。 高端光刻机市场已经完完全全被ASML垄断 。
从光刻机总体出货量来看(含非IC前道光刻机),目前全球光刻机出货量99%集中在ASML,尼康和佳能 。 其中ASML份额最高,达到67.3%,且垄断了高端EUV光刻机市场 。 ASML技术先进离不开高投入,其研发费用率始终维持在15%-20%,远高于Nikon和Canon 。
Canon早已在很多年前便放弃了在高端光刻机上的竞争 ， 目前产品主要集中在面板等领域 。 目前他们还在销售的集成电路光刻设备在指标标上只相当于ASML的低端产品PAS5500系列 。
Nikon作为世界上仅有的三家能够制造商用光刻机的公司之一 ， 似乎在这个领域不被许多普通人知道 ， 许多人只知道Nikon的相机做的好 ， 却不知道Nikon光刻机同样享誉全球 。

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