[半导体投资联盟]设备生产完工量较上年均有所下降，芯源微2019年净利下降3.94%( 二 )
芯源微生产的前道SpinScrubber清洗机设备已在中芯国际、上海华力等多个客户处通过工艺验证 ， 截至目前已获得国内多家晶圆厂商的重复订单 。
芯源微生产的光刻工序涂胶显影设备与单片式湿法设备 ， 已经从传统的先进封装领域、LED领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域 ， 截至目前已累计销售800余台套 ， 已作为主流机型应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等国内一线大厂 。 报告期内 ， 公司后道领域销售订单有较大幅度的增长；受下游LED领域周期性调整影响 ， 公司LED领域销售订单有所下降；公司产品在化合物、MEMS、特色工艺等领域均有应用 。
此外 ， 芯源微还披露了2020年第一季度报告称 ， 公司实现营业收入8,528,919.27元 ， 同比减少17.24%；归属于上市公司股东的净利润-7,869,353.56元 ， 上年同期-9,025,228.43元 。 （校对/GY）
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