爱集微 中微公司：目前没有光刻机的研发计划或并购计划
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集微网消息（文/Jimmy） ， 中微公司在互动平台表示 ， 公司目前没有光刻机的研发计划或并购计划 。 公司关注集成电路其他设备领域 ， 并将积极拓展业务 ， 寻求新的发展机会 。
【爱集微 中微公司：目前没有光刻机的研发计划或并购计划】中微公司是我国集成电路设备行业的领先企业 ， 目前开发的产品以集成电路前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备等关键设备为主 ， 并已逐步开发应用于后道先进封装、MEMS、MiniLED、MicroLED等领域的泛半导体设备产品 。
中微公司的等离子体刻蚀设备已在台积电、中芯国际、海力士、长江存储、格罗方德、博世、意法半导体等国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米的集成电路加工制造及先进封装中有具体应用 。 中微公司的MOCVD设备在三安光电、璨扬光电、华灿光电、干照光电等行业领先客户的生产线上大规模投入量产 ， 公司已成为世界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基LED设备制造商 ， 预计中微公司来自本土半导体存储厂的蚀刻设备订单有望在2020年至2021年爆发 。 （校对/Jurnan）
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