企业观察报只有世界前三才有活路。中国第几?,芯片行业( 二 )


目前 , 包括中芯国际、华为海思、上海华虹宏力 , 及进入中国的外资等半导体制造企业 , 大多只能排队采购他国更新换代后的低端或二手装备 。
“进口到我国的集成电路终端装备中 , 直径8寸、12寸硅片的大厂生产线凤毛麟角 。 ”中国某集成电路装备制造企业董事长接受《企业观察报》采访人员采访时表示 , 西方国家一旦“收紧” , 进口装备的日常维护、零部件都保证不了 。
《瓦森纳协定》对中国高科技影响不仅仅是技术封锁 , 还有自主研发的“围剿” 。
2011年年末 , 中国电科下属某研究所打破西方垄断 , 突破集成电路后封装环节的关键技术瓶颈 , 研发出“国内首台全自动引线键合机” , 在进入市场产业化时 , 西方国家大幅降价 , 以价格战与知识产权战 , 进行围追堵截 。
“对方就是千方百计让你无法生存 。 ”上述企业董事长再次举例表示 , 当年中国在研发出集成电路划片机后 , 赢利多年的日本厂商 , 从每台几十万美金降至几十万人民币 , 使国产划片机无利可图 , 甚至于亏损 。
这是一场生死竞速 , 各方早已刀枪相向 。
没有好设备就造不出好芯片 。 一系列事件连锁反应 , 造成中国在成为世界第一大芯片市场的同时 , 必须长期依赖进口的尴尬现实 。
《二十国集团国家创新竞争力黄皮书》显示 , 中国关键核心技术对外依赖度很高 , 80%的高端芯片靠进口 , 自给率不足10% 。 而军用、航天级基本自给自足 , 中低档芯片除了能自产外 , 用于大量出口 。
来自海关的历史数据显示 , 2018年中国进口芯片数量为4175.7亿件 , 进口金额突破2万亿人民币(3120.58亿美元) , 占全球集成电路5000亿美元市场的近60% , 是中国石油进口1.588万亿人民币的1.3倍 , 位列中国进口商品第一位 。
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-THETHIRD-
打破“围剿”跨越发展
为打破国外围剿 , 中国高层开始把集成电路高端制造装备发展 , 纳入国家重大战略进行思考与支持 。
2008年 , 国务院启动《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006–2020年)》 , 《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》位列大型飞机、载人航天与探月工程之前 , 在十六个重大专项的第二位 , 被称为国家“02专项” , 完成时限为十五年 。
“02专项”目标 , 实现集成电路90nm制造装备产品化 , 若干关键技术和元部件国产化;研究开发出65nm制造装备样机;突破45nm以下若干关键技术 , 初步建立我国集成电路制造产业创新体系等 。 同时开展22-14nm前瞻性研究等 。
在实施“02专项”的12年间 , 中国集成电路制造装备领域实现多项突破 , 并快速发展 。
2011年2月 , 国内第一台具有完全自主知识产权的全自动引线键合机研发成功 。 中国电科打破发达国家垄断 , 突破中国微电子技术后封装环节的关键技术瓶颈 。
2015年 , 国产首台中束流离子注入机 , 率先实现量产晶圆过百万片 。 中国电科研发的12英寸中束流离子注入机 , 在中芯国际先后完成55nm、45nm和40nm小批量产品工艺验证 。
2016年 , 中国电科推出高端工艺的新机型45-22nm低能大束流离子注入机 , 中束流、低能大束流系列产品达到国际水平 , 批量应用于国内集成电路大生产线 。
在芯片封测领域 , 上海微电子已成为封测龙头企业的重要供应商 , 在国内市场占有率高达80% , 全球市场占有率达40% 。
2020年5月4日 , 属于中国自己的尖端世界级技术5nm蚀刻机 , 由中微半导体设备(上海)有限公司酝酿问世 。 在国际上 , 28nm以下刻蚀机 , 除美国与日本外 , 没有其他国家能做到 。
蚀刻机在制造芯片过程中 , 相当于农业时代的人手 , 工业时代的机床 。 虽然不如光刻机重要 , 但却不可或缺 。
还有北方华创的刻蚀机与湿法清洗等 , 已具备28nm的供货能力 , 14nm工艺正在验证 。
“在02专项实施前 , 我国集成电路高端制造装备为零 。 ”中国科学院微电子研究所所长叶甜春曾在公开场合表示 , 经过12年的奔跑与发展 , 中国集成电路制造高端装备总体技术水平 , 已达到28nm精度 , 部分14nm精度的关键设备开始进入客户生产线验证 。
不仅如此 , 从刻蚀机、磁控溅射到离子注入机等 , 中国在30多种关键设备都已研制成功 , 并通过大生产线的考核 , 实现批量供货 。
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-THEFOURTH-
世界只有前三
关键技术突破不等于整体超越 。
“芯片问题事关百年发展的长期战略问题 , 不能短视 。 ”在2020年4月28日召开的5G和网络发展战略研讨会上 , 中国科学院微电子研究所所长叶甜春表示 , 中国集成电路产业链创新不是三年五年的问题 , 而是十年二十年 , 甚至上百年的发展问题 。 我们要对其艰巨性、长期性 , 以及相应的持续难度攻关有充分的认识 。
“我们正在改变它 , 大概需要几年时间 。 ”中电科电子装备集团(以下简称“电科装备”)有限公司党委书记、董事长左雷曾接受《企业观察报》采访人员采访时表示 , 核心技术买不来、要不来 , 也讨不来 , 核心器件受制于人、重大装备受制于人 , 中国未来的崛起与电子发展也会受制于人 。


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