安兔兔|全新半导体技术宣布！5nm产能飙升600%
荷兰ASML公司是目前全球唯一EUV光刻机供应商 ， 7nm制程工艺的芯片都要使用ASML的设备 ， 现在他们又带来了一项全新的设备 ， 适用于5nm及更先进的工艺 ， 提升生产效率 。
日前 ， ASML宣布 ， 已完成第一代HMI多光束检测机HMIeScan1000的系统集成和测试 ， 可用于5nm及更先进的工艺 ， 相比单个电子束检查工具 ， eScan1000拥有九个光束 ， 可让产能提升600% 。
【安兔兔|全新半导体技术宣布！5nm产能飙升600%】据悉 ， eScan1000是基于HMI多光束技术的检测系统 ， 包括一个电子光学系统 ， 该系统能够创建和控制多个一次电子小束 ， 然后收集和处理所产生的二次电子束 ， 将电子束与电子束的串扰限制在2％以下 ， 并提供一致的成像质量 。
同时它还具有一个高速平台以提高系统的整体吞吐量 ， 以及一个高速计算架构来实时处理来自多个电子束的数据流 。 从而实现物理缺陷检查和电压对比检查 ， 减少晶圆质量分析所用的时间 。
此外 ， eScan1000拥有专门的芯片 ， 用以检测数据库缺陷检测功能 ， 使得芯片制造商能够使用晶圆打印检查来监视EUV的缺陷 ， 这一点在单束解决方案上需要大量时间 ， 而多个电子束很快就能完成 。
目前第一个eScan1000已于本周交付客户进行测试验证 ， 未来还会推出大量多光束测试设备满足客户对先进工艺的需求 。
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