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朱邦凌 上海微电子何时能生产EUV光刻机？占据国内光刻机80%市场份额


朱邦凌 上海微电子何时能生产EUV光刻机？占据国内光刻机80%市场份额
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1、光刻机是芯片生产关键设备 ， ASML的EUV光刻机可量产7nm芯片
芯片的生产过程工非常复杂 ， 从硅的采集、提纯 ， 到晶圆的切割、光刻八步 ， 再到刻蚀、芯片测试 ， 最后封装 ， 每一个步骤对技术的要求都及其严苛 ， 而“光刻”是其中最关键的一个步骤 ， 也是成本最高、经验最匮乏的一步 。
“光刻”的意思是用光来制作一个图形 ， 而“光刻”是通过光刻机来实现的 。 光刻机可以简单的理解为一种用紫外线在硅片、石墨烯等晶圆上刻集成电路的系统设备 。 一台光刻机的零配件高达5万个 ， 制造过程极其复杂 ， 被誉为“现代光学工业之花” 。
光刻机最核心的部件是镜头和激光光源 ， 而在这两项技术上 ， 中国因起步晚 ， 还在追赶荷兰日本等国家 。 目前全球能生产5nm及以上的光刻机只有荷兰的ASML一家企业 ， ASML掌握了极紫外光源技术 ， 可以生产7nm及5nm的芯片 。 而极紫外光源技术也并非ASML独家研发的 ， 在研发前期 ， 是多国参与的 ， 包括了欧洲多国 ， 还有日本韩国等国家 。 ASML的EUV（极紫外光刻）光刻机包含了多个国家的专利 ， 可以说是是全球人类智慧的结晶 。
我们国家光刻机研发起步晚 ， 但追赶速度很快 。 目前光刻机全球梯队中 ， 荷兰ASML排名第一 ， 是唯一一家可以生产EUV光刻机的厂家 。 其次是日本的佳能还有康尼等公司 ， 也可以独立生产光刻机 ， 但是面对的市场是中低端芯片市场 。 排名紧随其后的是国内的上海微电子装备（集团）股份有限公司 ， 虽然也能够生产出来光刻机 ， 但目前只能够生产出来90nm的光刻机 ， 上周有媒体报道上海微电子将交付首台国产28nm光刻机 。
朱邦凌 上海微电子何时能生产EUV光刻机？占据国内光刻机80%市场份额
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2、上海微电子预计12月可生产11纳米光刻机 ， 该光刻机有生产7纳米制程的潜力
在5nm及7nm制造工艺芯片生产方面 ， 我们国内企业现在还是要依靠国外 。 目前台积电依靠荷兰ASML的EUV光刻机 ， 成为了全球芯片代工厂 ， 占据全球芯片代工50%以上的市场份额 。 华为 ， 美国英特尔、高通都是通过台积电生产芯片 。 据报道 ， 从2020年开始华为将加强和中芯国际的合作 ， 将之前给台积电的部分订单陆续转给中芯国际 。
中芯国际芯片代加工目前使用的是14nm技术 ， 早在2018年 ， 中芯国际曾向ASML订购了EUV7纳米光刻机 ， 但是美方的频频施压令ASML始终没有发货 ， 后来中芯国际收收到了ASML发来的另外一台非EMU技术的光刻机 ， 虽然对该公司的光刻技术有一定的研发参考作用 ， 但仍旧无法对华为需要的7纳米芯片进行量产 。
虽然我们国内的技术水平还无法量产7nm芯片 ， 但最新报道消息称 ， 上海微电子预计在今年12月 ， 将可能下降首台采用ArF光源的可生产11纳米的SSA800/10W光刻机 。 如果采用华卓精科工作台的套刻精度指标优于1.7纳米 ， 该光刻机有生产7纳米制程的潜力（多次曝光） 。
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4、上海微电子占据国内80%光刻机市场份额 ， 专利申请超过2400项
上海微电子装备（集团）股份有限公司是在国家科技部和上海市政府共同推动下 ， 由国内多家企业集团和投资公司共同投资组建的高科技企业 。 公司成立于2002年 ， 主要从事半导体装备、泛半导体装备以及高端智能装备的设计制造销售 ， 其中光刻设备是公司的主营业务 。
上海微电子是大陆光刻设备龙头企业 ， 在国内中端先进封装光刻机和LED光刻机行业市场中 ， 上海微电子占据了80%的市场份额 。 根据芯思想2018年数据 ， 上海微电子光刻机年出货大概在50-60台之间 。 根据中国半导体协会 ， 公司在半导体设备商中排名第5 ， 是唯一上榜的专门研究销售光刻机的厂商 。


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