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|光刻机是国产芯片的“痛中痛”，中国何时可以摘取这颗明珠？( 二 )


美国一位工程师说：“光刻机的一个小零件 ， 工程师就需要调整高达十年之久 ， 就连尺寸的调整就要高达百万次以上 。 ”
正因为技术难度大 ， ASML 即便投入大量研发费用 ， 也未能实现完全自主 ， 它仍要从美国、德国、日本等国家进口零部件 。 比如 ， 其光刻机的镜头 ， 是从德国蔡司公司购买而来 ， 电源则购于美国 。
难 ， 只是一方面 ， 迭代过快也是一大痛点 。 当今电子工业 ， 依然受摩尔定律影响 ， 基本一年半就得迭代一次 ， 这就导致芯片厂商排队 ， 也要买最新光刻机 ， 不然就无法造出高端芯片 。
ASML 好比一家掌握着独家秘方的私房菜馆 ， 别人不仅轻易学不到秘方 ， 想吃他家菜还得斥巨资 。 也正因此 ， ASML 垄断着 100% 的 7nm 以下光刻机市场 ， 是的 100% 。 更严重的是 ， 中国想买它还不一定敢卖 。
想买买不到
1996 年 7 月 ， 美国召集 33 个国家 ， 在奥地利签署《瓦森纳协定》(简称“瓦协” Wassenaar Arrangement) ， 坊间称这份协定为“来自华盛顿的敌意” ， 因为协定的主要目的 ， 在于美国要限制他的小伙伴们 ， 把先进技术出口给其他国家 。
前文提到中芯国际向 ASML 购买光刻机 ， 就曾遭遇不顺 。 美国国务卿蓬佩奥 ， 为阻止 ASML 出售光刻机给中方 ， 甚至亲自飞到荷兰游说 。 这导致中芯国际明明已经付款 ， 但是 ASML 却迟迟没有发货 。
对此 ， 马超告诉 DeepTech：“商品价格是由供需关系决定的 ， 全球只有 ASML 一家高制程光刻机供应商 ， 可谓别无分号 ， 因此价格决定权不在买家手中 。 而且光刻机本身的技术含量和研发成本也异常高昂 ， 如果中国能用 10 亿美元直接买到一台 EUV ， 我相信华为肯定会毫不犹豫地下单 。 ”
那么 ， 为什么中国非要买 ， 不可以自己造吗？
这得从多年前说起 ， 中国最初的方案 ， 是采购外国芯片 。 对此 ， 马超表示 ， 当时采购外国芯片 ， 应该说是一个正确选择 。
2003 年的 “汉芯事件”（上海交通大学微电子学院院长陈进教授发明的“汉芯一号” 芯片造假 ， 借助“汉芯一号” ， 陈进又申请数十个科研项目 ， 并骗取高达上亿元的科研基金） ， 也让国人意识到基础领域不单要有资金 ， 更需要时间积累 。
21 世纪初 ， 中国的芯片技术 ， 比外国落后 30 年至 40 年 ， 如果完全靠自主研发 ， 那么现在繁荣的数字经济、互联网 + 等景象 ， 就不会如此迅速地诞生在中国 。
那么 ， 当前中国的光刻机是怎样的现状？
中国光刻机现状
就在美国再次打压华为的前一天 ， 5 月 14 日 ， 无锡高新区管委会与 ASML 公司正式签署战略合作协议 ， 后者将在原有基础上 ， 整合并提升资源 ， 以加速光刻设备技术服务（无锡）基地的扩建 。
事实上 ， 早在 2006 年 ， ASML 就在无锡建立了光刻设备技术服务基地 。 如今 ， ASML（无锡）基地是中国规模最大的光刻设备技术服务基地 。
|光刻机是国产芯片的“痛中痛”，中国何时可以摘取这颗明珠？
本文插图

图 | ASML 光刻设备技术服务（无锡）基地项目签约仪式现场（来源：科技日报）
ASML 全球副总裁、中国区总裁沈波就此次扩建表示：“光刻设备服务基地升级将强化我们和客户的协作 ， 快速回应客户需求 ， 不断提升对客户服务的水准 。 ”
这或可以理解为 ， 该基地的签约 ， 正是为了避免明明中芯国际已经付款下单 ， 但却因为众所周知的原因收不到货的覆辙 。 与此同时 ， 国产光刻机制造商 ， 也在快步追赶 。
2019 年 4 月 ， 武汉光电国家研究中心甘棕松团队 ， 采用二束激光 ， 在自研的光刻胶上 ， 突破光束衍射极限的限制 ， 并使用远场光学的办法 ， 光刻出最小 9nm 线宽的线段 。 最终该光刻机样机 ， 一举实现材料、软件和零部件的三大国产化 。


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