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书黎书外 能够继续芯片界摩尔定律的王牌--阿斯麦EUV光刻机的成长故事

不怕简陋
曾经在港片里大佬们的标配大哥大 ， 真是名副其实的巨大 。 可它除了打电话外也就只能用来砸核桃了 。 现在的智能机 ， 虽然只有巴掌大小 ， 却几乎包括了通信、娱乐和生活等方方面面所有功能 。 这样的飞跃 ， 集成电路芯片的发展居功至伟 。
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图一曾经港片里大佬们的标配大哥大（手提电话 ， 图片来自网络）
方寸大小的芯片 ， 是手机的心脏 。 它有多强大 ， 手机就有多厉害 。 要在这方寸间集成多种功能的电路 ， 放置上亿个元器件 ， 技术精度要求非常高 。
制造这样的芯片的机器叫做光刻机 。 目前能生产光刻机的公司不多 ， 其中阿斯麦占领了半壁以上的江山 。
这位现在的业界老大可不是一出场就自带主角光环 。 他也走过了艰难的创业之路 。 1984年 ， 荷兰飞利浦公司抱着观望的态度和一家小芯片/p>
刚刚成立的阿斯麦并没有得到飞利浦的重视 ， 31名员工仅在飞利浦办公楼旁边简陋的集装箱工棚里工作 。
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图阿斯麦最初的办公室是在飞利浦大楼旁边的简易工棚（图片来自网络）
看准了就上
阿斯麦刚刚成立的时候 ， 光刻机的领头羊日本尼康正是如日中天 ， 根本不把阿斯麦放在眼里 。 那个时候 ， 光刻机采用的技术都是以空气为介质的干式光刻技术 ， 到了上世纪90年代 ， 干式光刻技术走到了自己的瓶颈 ， 无法把光刻光源从193nm缩小到157nm 。 就连呼风唤雨的业界老大尼康也没辙了 。
就在整个半导体行业一筹莫展的时候 ， 台积电的研发副总林本坚换了个思路 ， 把光源到晶圆之间的介质从空气换成了折射率更大的水 ， 于是 ， 在不改换光刻光源的情况下将光波从193nm缩小到了132nm ， 比之前的目标157nm更小了35nm 。
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图三提出浸润式光刻技术的林本坚（图片来自网络）
固步自封是大佬们容易犯的错误 。 林本坚的想法被尼康等大公司无情的拒绝了 。 只有阿斯麦选择了与台积电合作 。 于是 ， 2003年 ， 双方共同研发成功了全球第一台浸润式光刻机 。
即使这个时候尼康也改进了技术 ， 成功的将光源波长缩小到了157nm ， 但相比阿斯麦的132nm ， 还是长了25nm 。 从此 ， 阿斯麦的春天来了 。
独霸天下
在干式光刻技术遇到193nm瓶颈的时候 ， 英特尔于1997年 ， 和美国能源部一起牵头发起了一个叫EUVLLC的合作组织 ， 专门研究超紫外光光刻技术 ， 这个技术的光源波长可以降到13.5nm ， 改进是相当的可观 。 但同时 ， 技术难度也非常高 。
这个组织为了技术保密把日本尼康排除在外 。 而当时还只是个小角色的阿斯麦却想尽办法加入 。 阿斯麦承诺在美国建立工厂和研发中心 ， 并保证55%的零部件都向美国供应采购 ， 还要定期接受审查 。
书黎书外 能够继续芯片界摩尔定律的王牌--阿斯麦EUV光刻机的成长故事
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图四阿斯麦EUV刻光机（图片来自网络）
【书黎书外 能够继续芯片界摩尔定律的王牌--阿斯麦EUV光刻机的成长故事】从此 ， 阿斯麦背靠美国供应商和芯片厂商 ， 担负着业界的希望 ， 开始啃EUV这块硬骨头 ， 走上独霸天下的道路 。
2012年 ， 英特尔、三星和台积电三家企业给阿斯麦投资52.29亿欧元 ， 共同致力于EUV光源光刻机的研发 。
阿斯麦不负众望 ， 终于在2015年发布了可量产的EUV样机 。 虽然一台机器的售价高达1.2亿美元 ， 但相比为给芯片生产带来的飞跃 ， 这都不是事儿 。
EUV是所有芯片厂商梦寐以求的机器 ， 常年供不应求 。 终于 ， 阿斯麦使自己在芯片行业的地位堪比包包界的爱马仕 ， 腕表中的百达翡丽 。


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