晶合|晶合着力打造北方华创、安集新组合 本土化取得突破性进展
合肥晶合集成是安徽省第一家12英寸晶圆代工企业 ， 专注于半导体晶圆代工业务 ， 目前驱动芯片产能在全球液晶面板显示领域市场占有率达到20% ， 在中国大陆地区液晶面板显示驱动芯片市场份额达到85% 。 预计2021年也将成为安控领域图像传感芯片主要代工者 。
晶合集成一直致力于本土化发展 ， 在2017年企业刚进入量产时期就引进了第一台国产设备:北方华创的物理气象沉积系统（AI PVD–evictorA830）,线上验证 ， 各方面性能达到国际产品水准 ， 可以实现完全替代同类美国产品 ， 进行稳定量产 。 2019年 ， 晶合大胆尝试 ， 再次引进北方华创Saqua系列12英寸单片清洗机 ， 自机台Movein以来 ， 双方密切配合 ， 稳步推进产品工艺验证 。 双方合作研发小量换酸功能 ， 提升药液使用寿命 ， 降低药液成本 。 共同开发的纳米喷雾(Nanospray)功能 ， 工艺颗粒去除率明显提升超过97% ， 产品良率也得到显著改善 ， 2019年8月30日 ， 该设备正式加入生产行列 ， 替代日本同类产品 。 至此 ， 晶合加快本土产品替代的进程 ， 从原日本机台和美国材料的组合 ， 转变成北方华创机台和安集材料组合 ， 预计在产能达到3万片后 ， 在EKC（混酸工艺）领域将全部替换为北方华创的设备 。
本文插图
【晶合|晶合着力打造北方华创、安集新组合 本土化取得突破性进展】
晶合引进的北方华创Saqua系列12英寸单片清洗机
蔡辉嘉总经理认为 ， 无论是降低企业生产成本 ， 还是保持企业采购选择的多样性 ， 推动本土产品参与竞争都是非常重要的 。 只要给时间 ， 给机会 ， 我对本土产品的未来非常有信心！
本土化设备的进驻对于晶合甚至合肥的集成电路产业链发展都有着积极的推动作用 ， 一方面 ， 对于晶合而言 ， 通过和北方华创的成功合作 ， 不仅减少了物流时间、降低了生产成本 ， 也让晶合在机台方面有了多重选择 。 另一方面 ， 本土产品的品质逐步提升 ， 透过晶合生产良率验证的实绩 ， 本土设备企业可以拿到参与市场中自由竞争的门票 ， 有助于帮助合肥乃至中国半导体打造健康的产业生态 。
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