上海微电子28nm光刻机明年交付
邂逅小森师兄上海微电子28nm光刻机明年交付 ， 人家都5nm了我们的28nm有何意义早几年法国和日本东芝等事件我们仿佛看故事一样 ， 直到最近几年发生的中兴事件、制裁中国科技公司事件和华为被制裁以后 ， 让所有中国人认识到了中国在半导体芯片领域的薄弱和中国在芯片制造设备领域的薄弱 。 当人家已经拥有了5nm的光刻机的时候 ， 我们预计明年才能研发出28nm的光刻机 ， 上海微电子28nm光刻机明年交付 ， 对于我们有何意义？
现在世界上只有ASML、佳能、尼康三家光刻机供应商 ， 其中ASML 在高端市场是一家独大 ， 且是全球唯一的EUV 光刻机供应商 。 也就是说：我们就算研发出了5nm的麒麟1020芯片 ， 但是我们没有这三家国外厂商的设备 ， 我们压根就造不出来 。 那么为什么我们就没有光刻机这样的设备呢？因为光刻技术是一种十分复杂的技术 ， 通过光和化学将电路图转移到晶圆表面 。
ASML 在高端市场一家独大并且垄断 EUV 光刻机 ， 目前全球光刻机出货量 99%集中在 ASML、尼康和佳能 。 其中ASML份额最高甚至达到了67.3% ， 且垄断了高端 EUV 光刻机市场 。 EUV 光刻机价格也越来越贵 ， 目前较先进的 EUV 光刻机设备前年就可以买到近10亿元人民币一台 。 10亿元人民币什么概念 ， 存银行里一年下来利息最低也有400万 。
中国现在只有一家自己的国产光刻机厂商 ， 就是上海微电子装备股份有限公司 ， 但是技术与国外还存在较大差距 。 1984年国外的ASML就成立了 ， 而上海微电子2002年才成立 ， 两者相距18年时间 。 目前上海微电子的光刻机可以应用于集成电路产业链中晶圆制造、封装测试、平板显示、高亮度 LED 等领域 。 上海微电子已量产的光刻机中性能最好的最高可实现 90nm 制程节点 ， 而ASML 的 EUV 3400B 制程节点已经达到了5nm 。
上海微电子的光刻机也不是一家之力 ， 而是中国众多企业共同努力的结果 。 其中有一款光刻机 ， 它的光源激光系统由科溢虹源（中科院微电子所、中科院光电所等组成）研发 ， 它的没式双工作台由华卓精科研发 ， 它的液系统由浙江启尔机电研发 ， 它的透镜及曝光系统则由国望光学（长春光机所、上海光机所等组成）研发 。
最近有消息：上海微电子将于2021年交付28nm光刻机 ， 我国集成电路产业发展有什么意义呢？虽然这个28nm光刻机与ASML目前最先进的5nm EUV光刻机相比 ， 仍有着很大的差距 。 但是对于中国的半导体产业来说意义非凡 。 因为比28nm更好的工艺制程的成本是很大的 ， 同时生产难度也很大 ， 所以现在28nm工艺也依然占据了很大的市场 。 虽然手机芯片的7nm麒麟990和苹果A12处理器马上就要升级为5nm的麒麟1020和苹果A13了 ， 但是在现代工业中28nm仍是比较主流的制程工艺节点 。
上海微电子28nm光刻机的推出 ， 将打破国外厂商的对于IC前端光刻机市场的垄断 。 特别是现在这个时间点 ， 将帮助国内的晶圆代工厂降低对于国外半导体设备的依赖 ， 提升中国半导体产业链的整体实力 。 最后说一句：加油上海微电子、加油华为、加油中国半导体、加油中国！
（原始标题：上海微电子28nm光刻机明年交付 ， 人家都5nm了我们的28nm有何意义）
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