朱邦凌|清华教授打破ASML双工作台技术垄断！“光刻机第一股”登陆科创板( 二 )
华卓精科作为技术驱动型企业 ， 持续加大在研发上的投入 。 报告期内 ， 公司研发投入分别为1,663.65万元、8,256.56万元和14,181.84万元 ， 占各年度营业收入的比例分别为30.75%、96.33%和117.24% ， 呈上升趋势 。
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3、清华大学朱煜教授带领的团队攻克光刻机工件台科技难题
这家公司成立的背景是：2016年4月28日 ， 由清华大学机械工程系朱煜教授担任负责人的研发团队历经5年时间研发的光刻机双工件台系统样机成功通过了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”实施管理办公室的项目验收 。
国外业界曾认为 ， 中国人现在不能、未来也不可能造出如此高精密超复杂的光刻机设备 。 日本尼康株式会社的社长来中国访问时曾说过这么一句话：“光刻机光学系统虽然很难 ， 我相信你们能够研制出来 ， 但工件台恐怕就拿不下来了 ， 因为这个系统太复杂了 。 ”
然而 ， 就是这么一个被公认为“太复杂”而不可能被中国解决的科技难题 ， 却被清华大学朱煜教授带领的团队攻克了 。 在国家“十二五”科技创新成就展上 ， 他们展出了自主研制的光刻机双工件台的核心模块 ， 即运动定位模块POMO ， 装备这种模块的双工件台系统可实现与掩模台优于2nm的同步运动精度 。
根据华卓精科官网资料显示 ， 公司成立时间为2012年5月9日 ， 由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立 ， 是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业 。 公司建立初衷在于将清华大学在02专项中积累的高端垄断技术落地产业化 ， 通过“技术辐射＆下行”的方式 ， 面向国内市场提供产业界急需的高端零部件、子系统类产品 。
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据公开资料 ， 朱煜 ， 男 ， 1965年1月出生 ， 中国国籍 ， 无永久境外居留权 。 2001年毕业于中国矿业大学 ， 博士学历 。 2001年7月至2004年9月在清华大学从事博士后工作；2004年10月至今历任清华大学教师、清华大学机械工程系机械电子研究所所长、清华大学IC装备领域学科带头人；2012年5月至2015年8月担任北京华卓精科科技有限公司董事长兼总经理职务；2015年8月至9月担任北京华卓精科科技股份有限公司董事长职务；2015年9月至今 ， 担任北京华卓精科科技股份有限公司董事职务 ， 为华卓精科首席科学家 。
【朱邦凌|清华教授打破ASML双工作台技术垄断！“光刻机第一股”登陆科创板】从一位国家战略专家到一流大学科研团队的负责人 ， 再到高科技企业的首席科学家 ， 朱煜的身份如层层包裹的洋葱 ， 但在多重身份的认同中 ， 他明确表示——“我首先是清华大学教授” 。
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