科创板日报|国产光刻机第一股来了？华卓精科创板IPO获受理
伴随着A股光刻机概念股行情起飞 ， 近日科创板新增受理的一家光刻机双工件台企业引发了市场高度关注 ， 并被誉为国产光刻机“第一股” ， 一时风头无两 。
它就是：北京华卓精科科技股份有限公司（下称“华卓精科”） 。
率先在国内打破国际巨头ASML对光刻机双工件台的垄断 ， 这是华卓精科的A面 ， 而随着招股书曝光具有成长空间的B面也得以显现 ， 这一面关乎技术精进和市场开拓 。
“光刻机工件台”=“光刻机”？
近日 ， 光刻机双工件台生厂商华卓精科的申请IPO获上交所正式受理 ， 此前公司曾在新三板挂牌 。
据招股书披露 ， 华卓精科是国内首家可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商 ， 公司主营业务以光刻机双工件台为核心的超精密测控装备整机及部件 ， 应用领域覆盖集成电路制造、超精密制造、光学、医疗、3C制造等行业 。
国产光刻机“第一股”的呼声随之而来 。
《科创板日报》采访人员从业内获悉 ， 光刻机主要由工件台、投影物镜和光源三大核心子系统件组成 。 光刻机工件台系其中承载硅片完成光刻过程中一系列超精密动作的运动系统（包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等） ， 将影响光刻机的精度和产效 ， 综合技术难度较高 。
据介绍 ， 目前国内光刻机工件台领域发展进步较快 ， 个体能否胜出主要取决于机械加工精度和单步精度 。 但尽管工件台作为光刻机的核心部件 ， 其含金量与“光刻机”整机本身也不能并论；并且通常不会被单独采购 ， 晶圆制造商一般是采购包括工件台在内的成套光刻机整机设备 。
“光刻机工件台只是一个光刻机中的一个位移平台（器件） ， 通常成套光刻机设备里面就含有 ， 跟ASML他们做的光刻机本身差距还较远 。 ”曾接触该领域的半导体行业人士告诉《科创板日报》采访人员 。
至于全球的光刻机整机市场 ， 则长期被ASML（市占率70%以上）、尼康和佳能完全垄断 ， 三者合计市场占有率高达99% ， 国内方面的重要整机厂商则主要是上海微电子 。
核心产品仅获单一客户
华卓精科的光刻机双工件台产品恰恰销售给了国内光刻机主要厂商上海微电子 ， 后者研制的90nm高端步进扫描投影光刻机已完成整机集成测试 ， 并在客户生产线上进行了工艺试验 。
据招股书披露 ， 华卓精科的光刻机双工件台产品仍处于小批量定制生产阶段 ， 尚未实现规模化量产 。 公司针对国产高端IC前道光刻机的需求推出了DWS和DWSi两种系列的双工件台 ， 前者主要适用于干式步进式扫描光刻机 ， 目前已向上海微电子完成交付；后者适用于浸没式光刻机 ， 目前仍处于研发阶段 。
【科创板日报|国产光刻机第一股来了？华卓精科创板IPO获受理】值得一提的是 ， 截至目前向华卓精科采购光刻机双工件台的客户仅有上海微电子一家 。 2017-2019年度公司光刻机双工件台销售收入分别仅有1521.37万元、795.00万元和0万元 ， 主营业务占比仅为28.12%、9.28%和0% ， 且波动较大 。
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图〡华卓精科的主营业务构成；来源：招股书
对此 ， 业内人士分析称 ， 精度是半导体客户考量的重要因素 。 华卓精科的双工件台技术虽然实现了从0到1的突破 ， 但是与国外的先进技术还有一些差距 。 目前公司的双台系列产品主要应用于65nm及以下节点的ArF干式、浸没式步进扫描光刻机 ， 而国际先进水平的双台技术已经运用于7nm ， 甚至5nm光刻机的生产制造 。
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图〡华卓精科双工件台的性能参数；来源：招股书
国内先进制程产线为了保证产品良率 ， 以采购海外设备为主（主要从ASML等巨头处） 。 而巨头玩家自身 ， 如ASML的光刻机工件台为自行设计；尼康和佳能则统一交由整机厂商研发和生产 ， 并不需要单独外购 。
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