人民网|低成本DIY纳米级光刻机！这位95后男生火了…( 二 )
悬涂完成后放在预热好的加热台上,放置时间为90秒,过程中最好用锡纸盖上,以免灰尘异物落在玻璃片上 。
接下来就可以进行工艺参数的设置,速度调成2000左右,功率调到40%,选择点雕刻,并选择每mm两个点,停留时间为2毫秒,全部设置好后,开启热光模式 。
然后进行对焦,就可以开始光刻了 。
再拿出刚配好的显影液,不要倒太多,以免浓度过高,没有空间可以稀释以及补充碱液 。
配置妥当后,反影就可以开始了 。 玻璃片的表面会有红色物质生成,是重新溶解的光刻胶 。
由于是自配的显影液,所以在某些参数的位置掌握得不太好 。
【人民网|低成本DIY纳米级光刻机！这位95后男生火了…】显像的位置不是很明显,只能看到一片玻色显影 。
如果要看详细的,只能在显微镜下面看,有的地方是被腐蚀得不是很好 。 并在中等位列的情况下,是可以看到做出来的效果还可以,黑影的位置是在刚刚处理得不够充分,还缺少一些腐蚀时间 。
最高分辨率的情况下,一个点的结构:
根据对孔径的测量,大概是75μm的直径 。
网友评论:用最简陋的设备尝试最有趣的事
【人民网|低成本DIY纳米级光刻机！这位95后男生火了…】目前,小彭同学的视频已经有了20万的播放量 。 网友们对此评价也相当高 。
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