硬件|全球首台:苏大维格大型紫外3D直写光刻设备iGrapher3000投入运行( 三 )



大尺寸柔性触控屏的微电路3D光刻制备
硬件|全球首台:苏大维格大型紫外3D直写光刻设备iGrapher3000投入运行
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miniLED高光效匀光板、大口径投影屏的3D光刻制备
硬件|全球首台:苏大维格大型紫外3D直写光刻设备iGrapher3000投入运行
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大尺寸miniLED背板与透明立体显示屏的3D光刻制备
05 苏大维格的光刻机研发经历

苏大维格光刻仪器事业部在光刻技术与设备领域有扎实的基础 , 研制了多种用于MEMS芯片的光刻设备MiScan200(8”~12”)、微纳光学的MicroLab(4”~8”)和超表面、裸眼3D显示、光电子器件研究的纳米光刻设备NanoCrystal(8”~32”) 。这些新型光刻设备在企业和高等院所广泛应用 , 解决了我国多个领域研究中的卡脖子问题 , 为新型光电子器件、新材料、MEMS芯片和传感器件的研发提供了自主可控的先进手段 。
2020年1月10日 , 在国家科技奖励大会上 , 苏大维格承担的“面向柔性光电子的微纳制造关键技术与应用”成果 , 荣获国家科技进步奖二等奖 。
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