气体|从二极泵到三极泵再到StarCell，离子泵这70多年进步在哪？( 二 )
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1983年 ， 瓦里安（Varian）完全重新设计了三极泵 ， 开发出一种新的阴极结构 ， 称为 StarCell?（见下图） 。StarCell? 阴极板显示带有放射状排列的鳍片结构 ， 这种鳍片结构排列比较紧凑 ， 在几乎不损失溅射率的情况下显著提高了反弹概率 ， 这使得 StarCell? 在拥有媲美二极泵的氢气抽速和容量的同时 ， 可提供非常理想的对惰性气体的抽速 ， 远高于惰性气体二极泵 。同时 ， 其放射状的结构使阴极电池从中心到周边受控的消耗 ， 不会因形成空洞而断裂 ， 大大延长了元件寿命 ， 而且 ， 高压下运行时也比标准三极泵更稳定 。
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不同离子泵的选择
不同的离子泵对各种常见气体的抽气能力见下面表格 ， 可以看出 ， 当被抽气体主要是氢气时 ， 比如很少破空的超高真空和极高真空腔体 ， 采用二极泵是最优的 。如果被抽气体中含有氦气、氩气等惰性气体 ， 采用三极泵是最优的 。
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复合离子泵
在实际的应用中 ， 对追求超高真空并且很少破空的应用 ， 一般建议选择二极离子泵；其他应用建议选择 StarCell? 离子泵 。
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【气体|从二极泵到三极泵再到StarCell，离子泵这70多年进步在哪？】由于高真空时主要的气载是氢气 ， 好多时候也总是会有一定的比例的惰性气体 ， 为了兼顾对氢气和对惰性气体的抽速 ， 还经常会把 StarCell? 离子泵与对氢气抽速比较大的钛升华泵或者 NEG 吸气剂泵放在一起使用 ， 或者使用同时具有 StarCell? 离子泵抽气单元和钛升华泵或者 NEG 吸气剂泵抽气单元的复合型离子泵 。
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