TSMC|台积电买下市场上50%的EUV光刻机，贡献了60%的产能
在本周召开的台积电技术研讨会上 ， 最重要的中心信息之一是 ， 该公司在半导体制造领域处于世界领先地位 ， 特别是在领先的工艺技术领域 。为进一步传达信息 ， 台积电展示了一张幻灯片 ， 指出了它与其他产品的相对位置：通过结合ASML的声明和自己的内部采购单 ， 台积电预测他们已安装了全世界约约50％的激活EUV机器 。除此之外 ， 该公司还拥有约60％的EUV晶圆累计生产量 。
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大型晶圆厂目前已知的公开EUV工艺包括TSMC的7+和N5 ， 以及三星的7LPP（及以下任何产品） ， 英特尔的EUV努力仅在明年进入其自己的7nm产品组合 。这些流程之外的任何前沿技术都将继续扩大EUV的使用范围 。
与常规DUV机器相比 ， EUV机器的吞吐率通常较低 ， 每小时约为120-175片晶圆 ， 最新版本可以达到275 wph ， 但是由于1层EUV通常可以代替3-4层DUV ， 因此吞吐率更高 。但是 ， 对于这些代工厂来说 ， 渴望扩展到多个EUV机器以增加晶圆的物理数量是一个迫切的目标。
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唯一制造EUV机器的公司是ASML ， 并且该公司公开宣布其每年销售多少台机器 。详情如下：
请注意 ， 到目前为止 ， ASML仍未完全达到其目标 ， 但是已经足够接近实现目标 ， 这表明到2020年第二季度末 ， ASML仅出货了13台 ， 但他们预期是35个系统 。这些数字包括ASML已制造的所有不同类型的Twinscan NXE机器 ， 而更新的机器具有更高的吞吐量（有时会翻新一些旧的机器） 。截止到2020年Q2 ， 我们预测ASML已经发货的EUV机接近71台 ， 到2020年年底 ， 这个数字将有可能达到90台 ， 然而ASML可能有多达积压49 EUV扫描曝光机订单 ， 即使具有这些发货目标 。
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如果ASML已经出货了71台机器 ， 那么根据台积电的数字 ， 这意味着该公司大约有30-35台 。请注意 ， TSMC的数字是针对“已安装的EUV”机器的 。我们获悉 ， 从获取零件到校准机器使用最多需要6个月的时间 。因此 ， 目前 ， 这些晶圆厂中有一些正在等待安装EUV机器 ， 或者在Intel的情况下 ， 可能仅用于早期测试或风险前试验 。我们知道 ， GlobalFoundries拥有两台早期的EUV机器 ， 安装了一台 ， 但是当它决定不追求领先的7nm时最终出售了这两台机器 ， 其中国内企业订购了一台 ， 但据我们所知 ， 由于美国施加的限制 ， 它没有安装 。
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随着台积电为其N5生产增加其Fab 18的产能 ， 并提高其EUV集成度 ， 看看台积电是否受制于其所拥有的机器数量是否受到限制将很有趣 。在某个时候 ， 英特尔在部署7纳米工艺时也会想购买一个数量（我已经看到英特尔已经至少有10台机器 ， 但我无法确认） ， 所以可能会有一个谁先获得订单的争吵 。
【TSMC|台积电买下市场上50%的EUV光刻机，贡献了60%的产能】但是可以肯定的是 ， ASML正处于中间位置 ， 垄断着一切 。
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