奥松|奥松电子6英寸MEMS传感器芯片生产线正式投入运营
集微网消息 ， 奥松电子官方消息显示 ， 广州奥松电子有限公司（简称“奥松电子”）6英寸MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营 ， 成功量产出温湿度、气体等传感器芯片 ， 该生产线的建成投产标志奥松电子成为华南地区领先的MEMS半导体传感器芯片生产基地 。
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据介绍 ， 奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程 ， 已成功量产出温湿度传感器、空气质量传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器等多款优质的芯片产品 。
2019年3月 ， 该生产线一期工程立项 ， 2019年6月正式进入施工阶段 。经过6个月的施工 ， 生产线的基础设施已安装完成 。
【奥松|奥松电子6英寸MEMS传感器芯片生产线正式投入运营】2020年 ， 多台步进式投影光刻机、双面光刻机、涂胶显影机、深硅刻蚀机、大束流离子注入机、PECVD、LPCVD、氧化炉、磁控溅射机、探针台、应力测试仪、全自动RCA清洗机等先进的自动化生产设备搬入 ， 生产线正式投入运营 。此外 ， 根据规划 ， 2021年生产线二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线；2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线；总项目全部建成投产后 ， 每月流片规模将达到4万片 。奥松电子成立于2003年9月 ， 是全球少数具有MEMS半导体智能传感器全产业链（IDM）的公司之一 ， 主营产品有温湿度传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器、水蒸气传感器等 。（校对/LL）
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