气体原料制出1立方厘米级单晶金刚石
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日本产业技术综合研究所采用微波等离子体CVD(化学气相沉积)法 , 首次利用气体制作出体积1立方厘米级的无裂纹单晶金刚石 。 此次采用容易扩大合成面积的气体为原料 , 制作出全球最大级的高品质晶体 , 这一成果是向实现大型晶圆迈出的重要一步 。
功率半导体广泛应用于电力基础设施、汽车、铁路车辆、工业设备及家电等各种产品和设备 , 是支撑这些产品和设备实现高性能化及节能化的重要器件 。 此次的成果不仅能应用于功率半导体等电子领域 , 预计还可应用于自旋电子领域 。 金刚石能在室温和常压下处理空间分辨率较高的量子信息等 , 因此有望进一步提高传感器和量子计算设备等的性能 。 (本栏目稿件来源:日本科学技术振兴机构 整编:采访人员陈超)
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