『技术』被欧美垄断的电子工业“血液”—电子特气,国产替代计划全面加速( 二 )
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随着中国对半导体产业的扶持加大 , 芯片国产化率的不断提高 , 电子特气也要跟上步伐 , 能够做到自给自足 。
高端电子特气国产化的意义:一方面价格昂贵 , 进口气价格一般会达到国产气的 2-3 倍甚至更高 , 增加 IC 产业制造成本 , 削弱了我国 IC 产业的竞争力;另一方 面某些核心尖端气体海外巨头对我国实施各种封锁限制 , 供应情况受国际关系影响 , 对我国国家安全及经济发 展构成威胁 。 此外 , 很多电子气体本身属于危险化学品 , 进口手续繁琐、周期长 , 且某些电子气体性质不稳定 自发分解 , 或强腐蚀长时间放置杂质含量提高 , 漂洋过海进口本身就存在诸多不便
以昊华科技为例 , 是国内唯一具有4N高纯硒化氢产品研制及批量生产能力的企业 。 高纯硒化氢产品填补了国内空白,指标达到国外先进水平 。 此外,它们企业的特种气体产品还包括绿色四氧化二氮、高纯硫化氢、二氧化碳-环氧乙烷混合气(熏蒸剂)、标准混合气体等 。 昊华科技与韩国大成合作建设的 2,000 吨/年三氟化氮项目 , 广泛应用于蚀刻、清洗、 离子注入等半导体生产工艺 。
目前 , 昊华科技部分产品已实现 进口替代 。 公司工业级六氟化硫国内市占率约为 30% , 电子级六氟 化硫市占率约为 70% , 三氟化氮市占率约为 30% 。
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但目前的难题是 , 电子特气种类太多 , 如果要全部做到高端化 , 难度比较高 , 目前也缺乏领军型的企业 。
2014年 , 国家集成电路产业投资基金成立 , 首期募集资金规模达1387亿元 。 基金二期募资于2019年完成 , 募资2000亿 , 也就是目前中国共募资3387亿 , 对设备制造、芯片设计和材料领域加大投资 。
中国也立下了宏伟目标 , 明确提出在2020年之前 , 90-32nm设备国产化率达到50% , 2025年之前 , 20-14nm设备国产化率达到30% , 而国产芯片自给率要在2020年达到40% , 2025年达到70% 。
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【『技术』被欧美垄断的电子工业“血液”—电子特气,国产替代计划全面加速】国家目前也开始对电子特气领域进行投资扶持 , 可以说随着中国对半导体产业的不断重视 , 国产全面替代计划终会成功!
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