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康尔信电力系统TB@以氮化镓为代表的第三代半导体产业即将迎来爆发期( 二 )


【康尔信电力系统TB@以氮化镓为代表的第三代半导体产业即将迎来爆发期】
康尔信电力系统TB@以氮化镓为代表的第三代半导体产业即将迎来爆发期
本文插图
最大挑战：量产难度高
也因为第三代半导体材料后市看俏 ， 所以也有不少厂商很早就开始投入研发 ， 可望成为下一代的明日之星 ， 惟就业者表示 ， 要生产一片碳化硅晶圆并不难 ， 困难的是要怎么从一片到一百片、一千片的量产能力 ， 这些都受限技术、专利以及成本门槛 ， 造成量产的挑战 。
以碳化硅来说 ， 技术难度在于第一、在长晶的源头晶种来源就要求相当高的纯度、取得困难 。
第二 ， 长晶的时间相当长 ， 以一般硅材料长晶来说 ， 平均约3-4天即可长成一根晶棒 ， 但碳化硅晶棒则约需要7天 ， 由于长晶过程中要随着监测温度以及制程的稳定 ， 以免良率不佳 ， 故时间拉长更增添长晶制作过程中的难度 。
第三则是长晶棒的生成 ， 一般的硅晶棒约可有200公分的长度 ， 但长一根碳化硅的长晶棒只能长出2公分 ， 造成量产的困难 。


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