『』没有2亿美元别上6nm 展锐科普:5G处理器虎贲T7520强在哪?( 二 )
这个过程中 , 只有大约2%的EUV来到了晶圆上 。因为效率低 , 所以需要的功率也大辐上涨 。ArF光源平均的功率为45W , 而EUV的平均光源功率为500w!
成本太高:
最先进的EUV光刻机售价高达1亿欧元一台 , 是DUV光刻机价格2倍多 , 采购以后还需要多台747飞机才能运输整套系统 。
此外 , EUV光刻机必须在超洁净环境中才能运行 , 一小点灰尘落到光罩上就会带来严重的良品率问题 , 并对材料技术、流程控制、缺陷检验等环节都提出了更高的要求 。
最关键的是 , EUV光刻机还极度耗电 , 它需要消耗电力把整个环境都抽成真空(避免灰尘) , 通过更高的功率也弥补自身能源转换效率低下的问题 , 设备运行后每小时就需要耗费至少150度的电力 。
除此之外 , 次级电子对光刻胶的曝光、光化学反应释放气体、EUV对光罩的侵蚀等种种难题都要一一解决 。
这就导致很长时间里EUV的产量极低 , 在之前公开的资料里 , EUV的产量只有日均1500片 。
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虎贲T7520
结合以上的知识点 , 采用了6nm EUV工艺技术的虎贲T7520 , 真是闪耀着高技术高质量的光辉~
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