MEMS索尼dToF传感器将SPAD推上风口，消费类激光雷达迎来重大机遇( 二 )
索尼这款dToF图像传感器的分辨率为3万像素 ， 像素尺寸为10微米 ， 探测器类型为SPAD阵列 。 像素内连接通过混合键合互连技术将探测器晶圆和逻辑电路晶圆键合实现 ， 这是索尼首次将3D堆叠应用于dToF图像传感器 。 同时 ， 深沟槽隔离（Deep trench isolation）也被应用 ， 充满金属的沟槽完全隔离了像素 。 此外 ， 苹果新款iPad Pro激光雷达还集成了Lumentum的VCSEL芯片和德州仪器（TI）的VCSEL驱动芯片 。
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索尼dToF图像传感器横截面图
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Lumentum的VCSEL芯片
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