我为科技狂|不想太过依赖华为的订单了？中芯国际正在寻求开发更多的客户( 二 )

2025-12-30

【我为科技狂|不想太过依赖华为的订单了？中芯国际正在寻求开发更多的客户】当然，需要指出的是，按照梁孟松计划的蓝图一路发展下去，中芯也必须要引入ASML的极紫外光刻机。对此，梁孟松表示，在现阶段，中芯不计划为N+1和N+2制程工艺导入极紫外光刻机，要等到设备就绪以后， N+2工艺才会转而用极紫外光刻设备。另外，业内人士表示，晶圆厂量产7nm工艺，不是非得要用极紫外光刻机。台积电第一代7nm工艺就是用DUV+多重曝光技术达成的。所谓多重曝光，简单来说就是，上一次曝光留下的介质层是下一次曝光遮挡层的一部分。曝光次数越多，光罩成本越高，反复刻蚀良率越不好控制。极紫外光刻机主要为7nm以下工艺准备，包括5nm制程、3nm制程。晶圆厂用极紫外光刻机来生产7nm芯片，主要是出于成本和良率的考虑，而非必须要用极紫外光刻机才能量产7nm制程。

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