工件|“光刻机第一股”华卓精科冲刺科创板( 二 )
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招股书截图
华卓精科披露 ， 目前其光刻机双工件台产品仍处于小批量定制生产阶段 ， 尚未实现规模化量产 。
该公司针对国产高端IC前道光刻机的需求推出了DWS和DWSi两种系列的双工件台 ， 前者主要适用于干式步进式扫描光刻机 ， 可用于65nm及以上工艺节点 ， 目前已向上海微电子完成交付；后者适用于浸没式光刻机 ， 可用45nm及以下工艺节点 ， 目前仍处于研发阶段 。
谈及光刻机工件台的价格 ， 朱煜曾透露 ， 干式的双工件台约2000万元 ， 浸没式的约6000万元 。
有业内人士分析指出 ， 华卓精科的双工件台技术虽然实现从0到1的突破 ， 但是与国外还有一些差距 ， 目前国际先进水平的双工件台技术已运用于7nm ， 甚至5nm光刻机的生产制造 。
而华卓精科光刻机双工件台业务近年来波动也较大 。 2017-2019年 ， 该产品营收分别为1521万元、795万元和0万元 ， 占主营业务收入比重分别为28.12%、9.28%和0% 。
该公司坦言 ， 若其研发的光刻机双工件台因技术或客户需求等原因导致产业化不及预期 ， 则可能对其未来该产品销售收入分别为经营业绩造成不利影响 。
除此之外 ， 华卓精科还需要面对另一个不确定因素：其产品和重要客户存在一定竞争 。
招股书披露 ， 其以光刻机双工件台的超精密测控技术为基础 ， 开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品 。 而其光刻机双工件台的唯一客户上海微电子 ， 也是后两大产品的主要供应商 。
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工件|“光刻机第一股”华卓精科冲刺科创板。招股书截图
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