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瓦森纳协议不攻自破这几家大陆厂喜提ASML设备

随着全球半导体行业的竞争已经进入到了“下半场” ， 台积电和三星在7nm正打得火热 ， 但两边手里的“武器” ， 也就是极紫外光刻(EUV)光刻机 ， 均是来自于ASML 。本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/201903/398613.htm曾经 ， 一直传言受西方《瓦森纳协议》的限制 ， 中国只能买到ASML的中低端产品 ， 但ASML后来正式澄清 ， 其最高端的EUV光刻机进口到中国大陆完全没有问题 。那么近两年以来 ， 大陆有哪些集成电路制造商引进了ASML的设备呢?中芯国际：1.2亿美元的EUV光刻机去年5月 ， 中芯国际向ASML订购了一套EUV设备 ， 据传是当时最昂贵和最先进的芯片生产工具 ， 价值高达1.2亿美元 ， 这一设备预计将于2019年年初交付 。知情人士表示 ， 1.2亿美元的价格和2019年的交货时间可能不准确 ， 但订单是真实的 。 他还指出 ， 如果价格是1.2亿美元 ， 台积电和三星的价格也不会低于这个数目 。 也就是说 ， ASML给到中芯国际的价格已经很便宜了 。集微网采访人员根据价格推测 ， 中芯国际订购的这台EUV光刻机的型号应该是TwinscanNXE：3400B ， 这是当时市面上最先进的EUV光刻机设备 。据ASML官网显示 ， 这台价值1.2亿美元的天价设备 ， 能够支持精细到5nm工艺节点的批量生产 ， 由此也可以见得 ， 14nm不是中芯国际的最终目标 ， 7nm时代并不会太遥远 。在其他数据方面 ， 该设备采用了卡尔蔡司SMT全反射4倍光学变焦镜头组件 ， 最大曝光范围为26mm×33mm ， 拥有每小时155片的300mm尺寸晶圆雕刻能力 。要知道 ， 这台价值EUV设备的价值大致相当于中芯国际2017年的1.26亿美元净利润 ， 半导体行业专家莫大康曾表示这是为研发做准备的大投资 ， 但不能高兴的太早 ， 因为设备出口许可证 ， ASML说了不算 ， 还要听美国的 。不过 ， ASML今年还将推出产能更高的新型号TwinscanNXE:3400C ， 每小时晶圆雕刻能力将从155片提升至170片 ， 并换装了Cymer公司的340W光源 。 这样一来 ， 预计3400B运抵中芯国际厂区的时候 ， 已经不再是市面上最先进的EUV设备了 。长江存储：NXT1980Di就在中芯国际下单EUV光刻机几天后 ， 长江存储购买自ASML的光刻机也运抵了武汉天河机场 ， 陆续还有多台进厂 。根据集微网当时的报道 ， 这台光刻机为ASML的193nm浸润式光刻机,型号为NXT1980Di ， 售价达7200万美元(约合人民币4.6亿元) ， 用于10nm级(14～20nm)的晶圆生产 。据了解 ， 长江存储在2016年启动了位于武汉的国家存储器基地的建设 ， 总投资高达240亿美元 ， 按计划 ， 2020年月产能将达到30万片 。华虹六厂：喜提14nm关键设备去年5月21日上午 ， 华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目(“华虹六厂”)首台工艺设备光刻机正式进厂 。这台ASML的光刻机型号与长江存储的193nm双级沉浸式光刻机一样 ， 都是NXT1980Di ， 这两台也是当时大陆装备的最先进的沉浸式光刻设备 。华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目 ， 总投资387亿元人民币 ， 将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线 ， 工艺覆盖28-14纳米技术节点 。预计该生产线将于2022年底建成达产 ， 未来主要从事逻辑芯片生产 ， 重点服务国内设计企业先进芯片的制造 ， 并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求 。SK海力士(无锡)：如期而至的NXT:2000i去年8月 ， ASML曾表示已经开始出货新设备TwinscanNXT:2000iDUV(NXT:2000i双工件台深紫外光刻机) ， 可用于7nm和5nm节点 ， 并表示不久后就将进入大陆 。ASML果然没有食言 ， 去年12月19日晚间 ， 中国首台ASMLNXT:2000i正式搬入SK海力士位于无锡的工厂 。NXT:2000i将是NXE:3400BEUV光刻机的有效补充 ， 台积电的第一代7nm全部采用了DUV工艺 ， 在第二代7nm工艺(CLNFF+/N7+) ， 台积电首次应用了EUV ， 不过仅限四个非关键层 ， 其他关键层仍然使用的是DUV工艺 。作为当前ASML旗下套刻精度(overlay)最高的产品 ， NXT:2000i达到了和3400B一样的1.9nm(5nm要求至少2.4nm ， 7nm要求至少3.5nm)精度 。无锡是SK海力士在中国的DRAM内存芯片生产基地 ， 目前每月晶圆的产量约为14万片 。 另外 ， SK海力士还成立了SKHynixSystemIC公司 ， 开始进军晶圆代工市场 ， 同时增加1000万美元投资 ， 在无锡扩大了模拟IC芯片业务 。粤芯：神秘的运输车今年3月15日 ， 广州粤芯半导体在广州举行了主设备进场仪式 。 日前 ， 曾有数台载有半导体设备的运输车进入了粤芯的厂区 ， 其中就有一台格外引人注目 ， 因为其车厢外部印有ASML商标 。据集微网采访人员了解 ， 粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟IDM(irtuallDM)为营运策略的12英寸芯片厂 ， 也是广州第一条12英寸芯片生产线 ， 一期目标产能为4万片每月 ， 投资高达100亿元 。粤芯半导体目前的工艺覆盖90nm到180nm ， 产品主要包括微处理器、电源管理芯片、模拟芯片、功率分立器件等 。 二期工程建成后 ， 能满足物联网、汽车电子、人工智能、5G等创新应用的模拟芯片需求 ， 届时工艺覆盖将为40nm到65nm 。单以工艺节点的覆盖来推测的话 ， 这台ASML的设备 ， 有可能是TwinscanNXT:1965Ci ， 该设备能满足20nm级别的光刻工艺需求 。鞋是别人的 ， 路还要靠自己走ASML去年的净销售额为109亿欧元 ， 净收入为26亿欧元 。 仅第4季度就收到了5个EUV设备订单 。 按计划 ， 今年更将出货30台EUV设备 ， 其中包括DRAM客户的首批批量生产系统 。中国大陆的半导体制造目前还落后于世界一流水平两至三代 ， 虽然如今有ASML先进的硬件设施鼎力相助 ， 但还需要自身工艺研发方面取得突破 。如今 ， 就连台积电和三星这样的大厂都要看ASML的脸色行事 ， 没有ASML提供设备 ， 他们的先进工艺研发也会受阻 。 中国半导体产业在追赶世界第一梯队的路上 ， 半导体设备国产化具有重要战略意义 。虽然去年出现过一台号称能做10nm的国产光刻机 ， 但后来澄清了这台只是原理机 ， 不专业的报道一度引得国人拍手叫好 。 其实 ， 国内也有像中微半导体和北方华创这样有实力的半导体设备厂商 ， 虽然与ASML有一定实力差距 ， 但要想不受制于人 ， 只有自主研发一条路 。


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