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技术|方晓东：风樯动，扬帆行

如果有人问您 ， “当今世界第一大产业是什么？”您会毫不犹豫地回答“是以集成电路为基础的电子信息产业”吗？如果有人问您 ， “集成电路产业最重要的核心是什么？”您会毫不费力地回答 ， “是芯片制造”吗？如果有人接着问您 ， “半导体芯片制造业中最核心的设备是什么？”您能紧跟着回答 ， “是光刻机”吗？“那光刻机里最重要的光源是什么？”您能回答“是准分子激光”吗？
光刻机是集成电路制造中最精密复杂、难度最高、价格最昂贵的设备 ， 最先进的半导体光刻机全世界只有荷兰和日本的两家公司能够制造出来 ， 而光刻机里面的准分子激光器——也就是“核心中的核心” ， 世界上也只有美国和日本的两家公司能够做出来！和众多相关产业的重要技术一样 ， 它们被列入禁运的名单 。
2008年 ， 国家启动了16项重大科技专项 ， 其中“02专项”旨在扭转国家半导体装备、材料和工艺等落后的局面 。风樯动 ， 龟蛇静 ， 起宏图！当很多家单位和科研人员竞相投入到这场扬我国威的洪流中去奋起直追的时候 ， 有这么一家单位里的这么一个人 ， 凭借单位早年在准分子激光研究上的创新积累 ， 义不容辞地担当起了重任 。他是中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术研究中心主任、激光技术与光电功能材料研究室负责人方晓东 。
技术|方晓东：风樯动，扬帆行
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方晓东在实验室工作艰难困苦玉汝于成
安徽省合肥市西郊蜀山湖畔风景秀美的科学岛上 ， 中国科学院安徽光学精密机械研究所（以下简称“安徽光机所”）坐落于此 。建所40多年来 ， 安徽光机所始终秉承“精益求精 ， 开拓创新”的办所理念 ， 致力于光学及相关领域的研究和开发 。现已发展成为激光技术、大气光学、环境光学、光学遥感和大气物理化学等交叉学科并存 ， 以大气环境遥感监测技术和战略高技术及应用为重点的综合性研究机构 。
方晓东大学毕业就来到安徽光机所 。就是在这里 ， 他与准分子激光研究结缘 ， 跟随导师一起成为中国最早从事这门激光技术研究的一批人 。安徽光机所也因此成为国内最早从事准分子激光器研制的单位之一 ， 也是目前国内准分子激光技术研究领头的单位 。
安徽光机所的准分子激光研究并不是一帆风顺 。虽然洞察前沿 ， 但因为相关研究只是一个小学科 ， 且技术难度大 ， 当时国内市场需求小 ， 没有得到国家相关项目的重点支持 ， 造成了高端技术研发乏力和人才断档 。
艰难困苦玉汝于成 。在国内准分子激光研究陷入低潮难以为继的20世纪90年代 ， 方晓东东渡重洋到日本学习深造 。彼时 ， 他不仅有机会徜徉在科学研究的殿堂 ， 还置身于曾经风生水起的日本半导体产业界中 。受到启发和影响的方晓东 ， 将研究方向从光学转向了热门的半导体材料研究 ， 博士毕业后曾就职于日本日立公司从事半导体器件和工艺研发 ， 也曾先后在日本大阪大学做访问学者和客座教授 。这些经历为他积累了丰富的经验 ， 也为他之后将多学科知识交叉应用奠定了坚实的基础 。
师夷长技以自强 。2004年 ， 羽翼丰满的方晓东入选中科院“百人计划” ， 回到了安徽光机所 。回国后 ， 他首先延续自己在半导体材料研究方面的积累 ， 在材料物理与化学领域展开了多项探索研究 。机遇总是留给有所准备的人 ， 2008年“02”专项光刻机研制项目的启动 ， 就像是一声春雷 ， 唤醒了沉寂多年的种子 ， 10多年前在准分子激光研发上的那段积累 ， 让方晓东觉得自己有责任和义务举起那面曾经搁浅的旗帜 ， 让那段燃情岁月里的科研梦得以延续下去 ， 完成前辈和自己心愿的同时 ， 最重要的是能助力国家在相关领域的发展 。风生水起逐浪高 ， 当冲锋的号角吹响 ， 方晓东带领安徽光机所的准分子激光团队再次扬帆起航 。


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