中年|北京首条MEMS芯片生产线正式投产！
北京市重点支持 ， 由赛微电子控股子公司赛莱克斯（北京）公司投资建设的“8英寸MEMS国际代工线建设项目” ， 在经开区正式通线运行 。 北青-北京头条采访人员从北京市发改委了解到 ， 生产线现阶段月产能为1万片 ， 达产后将形成3万片/月的生产能力 。 这标志着北京市首条商业量产、全球业界最先进的8英寸MEMS芯片生产线进入实际生产阶段 。
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Micro-Electro-MechanicalSystems ， 即微机电系统 ， 是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器 ， 主要由微传感器、微致动器、微能源等微机械基本部分 ， 以及高性能的电子集成线路组成 。
目前 ， MEMS已广泛应用于医疗、汽车电子、工业、消费电子等众多领域 。 业内普遍认为 ， MEMS技术难度高、特色工艺性强 。 赛微电子董事长杨云春介绍：“大家平时熟悉的生产线主要侧重二维空间 ， 不断让芯片变得更小；而MEMS属于集成电路特色工艺 ， 聚焦于三维空间 ， 芯片内部结构也缩小至纳米量级 ， 所以格外考验芯片制造实力 。 ”
随着5G、大数据、物联网、云计算、新型智慧城市深度应用的发展 ， MEMS将迎来更广阔的发展空间 。 早在2010年 ， 新一代信息技术便被国家确定为七大战略性新兴产业之一 。 北京市经开区是全国集成电路产业聚集度最高、技术水平最先进的区域之一 ， 现已形成以中芯国际、北方华创为龙头 ， 包括设计、晶圆制造、封装测试、装备、零部件及材料等完备的集成电路产业链 ， 一批代表企业及研究机构 ， 承接了系列国家重大科技专项任务 。
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“首条MEMS芯片生产线的投产 ， 不仅能带动经开区新一代信息技术产业上下游各方合力攻克自主技术难关 ， 还将促进前沿科技成果转化 ， 助力打造具有国际竞争力的综合性新一代信息技术产业集群 ， 对北京建设新一代信息技术产业创新高地具有重大战略意义 。 ”市发改委相关负责人表示 。
文/北青-北京头条采访人员 林艳
供图/北京市发改委
【中年|北京首条MEMS芯片生产线正式投产！】
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