『半导体行业观察』群雄争食5nm盛宴
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来源:内容由公众号半导体行业观察(ID:icbank)原创 , 作者:张健 , 谢谢!
目前的5nm制造玩家 , 只有台积电和三星这两家了 。 而三星要到明年才能实现量产 , 就今年来看 , 台积电将统治全球的5nm产业链 。
在过去的一年里 , 台积电的5nm研发节奏很快 , 该公司在2019年三月进入了风险试产阶段 , 据说试产良率可以达到40% , 而在今年的第二季度 , 就可以实现大规模的量产 。 面对这一商机 , 全球5nm产业链上的相关厂商都绷紧了神经 , 要么争取分一杯羹 , 要么争取产能 。
因此 , 关注的焦点都聚集到了台积电身上 。 据悉 , 该公司将今年资本支出提升到了150亿~160亿美元 , 除了用于扩充7nm产能外 , 更重要的就是完成5nm量产及产能建置 。 按照计划 , 台积电将在第二季度进入5nm量产阶段 , 第三季度以最快速度提升产能 , 下半年5nm产能提升速度及幅度有望创下该公司产能新纪录 。
到了5nm阶段 , 台积电的投资额进一步攀升 , 16nm制程下 , 1万片产能投资约15亿美元 , 7nm制程下 , 1万片产能投资估计30亿美元 , 而5nm制程1万片产能投资估计达到了50亿美元 。
与7nm相比 , 高精尖的5nm对所涉及的供应链要求更高 , 无论是上游的半导体制造设备商 , 还是与台积电制造相关的原材料、零部件及服务商 , 或是芯片封测厂 , 以及相关的人才需求 , 都提出了更高的要求 , 同时也蕴藏着可观的商机 。 各路诸侯摩拳擦掌 , 都在围绕台积电展示着各自的实力 。
设备
为了尽快实现5nm量产并提升产能和良率 , 在过去的一年里 , 台积电一直在加快购买半导体制造设备 , 涉及的厂商主要有ASML、KLA、应用材料、中微半导体等 , 他们供应的光刻机、蚀刻机等都是制造芯片的重要设备 。
2019年1-11月 , 台积电的半导体制造设备采购金额达105亿美元 , 同比增长了46% 。 今年 , 台积电的设备采购量将集中在6-9月 , 这四个月内采购额将占全年的2/3 , 主要就是用于扩充5nm制程的产能 。
据悉 , 全球排名前五的半导体设备供应商在台积电采购中占比达75% , 其中 , ASML占比1/3 , 是第一大设备供应商 。 据统计 , 去年台积电设备采购中 , ASML光刻机等设备金额约为34亿美元 , 占台积电总采购额的33% , 其次是应用材料 , 采购额约为17亿美元 , 占比16% , TEL约12亿美元 , 占11% , Lam Research为10亿美元 , 占台积电采购额的9% , 迪恩士占5% , KLA占4% 。
ASML
目前 , 全球仅有ASML一家公司掌握着EUV光刻机的核心技术 , 这也是5nm制程必需的设备 , 但EUV光刻机的成本十分高昂 , 每台售价高达1.2亿美元 , 几乎是DUV光刻机价格的2倍 。
根据ASML公司发布的财报 , 2019全年共出货了26台EUV光刻机 , 预计2020年将交付35台EUV光刻机 , 2021年则会达到45-50台的交付量 。 这其中很大一部分都供给了台积电 , 用于扩充5nm , 以及7nm产能 。
中微半导体
除光刻机之外 , 蚀刻机也是5nm制程工艺不可缺少的 , 目前 , 全球高端刻蚀机玩家仅剩下应用材料、Lam Research、东京电子和中微半导体 , 而通过台积电5nm工艺认证的则更少 。
在这个领域 , 中国大陆的中微半导体取得了可喜的进步 , 其5nm蚀刻机已经打入台积电供应链 。
中微半导体主要生产蚀刻机、MOCVD等设备 , 它们与光刻机被称为半导体制造三大关键设备 , 而中微的5nm等离子蚀刻机已经具备了国际竞争力 。 等离子刻蚀机是芯片制造中的关键设备 , 用来在芯片上进行微观雕刻 , 每个线条和深孔的加工精度都是头发丝直径的几千分之一到上万分之一 , 精度控制要求非常高 。
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