光刻胶:深度研究——半导体之光刻胶,看五大龙头谁能迈出国产化第一步?( 二 )


4.五大巨头谁能率先领航国产化?目前国内半导体光刻胶生产和研发企业仅有五家 , 分别为苏州瑞红(晶瑞股份子公司)、北京科华、南大光电、容大感光、上海新阳 。 以下从半导体的三代光刻技术对于上述五家公司进行对比(半导体行业中 , 技术进程是唯一的护城河):
1.UV , g/i线光刻胶(436/365nm):
国产化率15% , 已量产公司:北京科华500吨/年、苏州瑞红120吨/年(02专项);容大感光产能建设中;
2.DUV , KrF/ArF光刻胶(248/193nm):
几乎全部靠进口 , 已量产公司:北京科华10吨/年;苏州瑞红进入产品中期测试阶段;南大光电(02专项) , 正在建设中 , 预计产能25吨/年;上海新阳预计6月份进入产品中期测试 。
3.极紫外(EUV光刻胶):
目前国内只有北京科华处于早期研究阶段(02专项) 。
【光刻胶:深度研究——半导体之光刻胶,看五大龙头谁能迈出国产化第一步?】综合来看 , 处于领先身位的为北京科华、苏州瑞红 。


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