低成本DIY纳米级光刻机！这位95后男生火了…
最近 ， 一位本科生自制光刻机的视频火了 。 是的 ， 你没听错 ， 大连理工大学化工学院的学生彭译锋 ， 竟然凭着一张图纸成功在家里搭建了纳米级光刻机， 还成功光刻出~75微米（75000纳米）的孔径 。 
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这位同学还在读本科 ， 整个制造过程都是在一间超简陋的小书桌上完成的 ， 全部数学演算全靠一张白板 ， 所有的材料都堆放在桌上地上 ， 简直就是“家居实验室模范” 。
大概长这个样子?? ， 非常接地气了 。
【低成本DIY纳米级光刻机！这位95后男生火了…】
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彭同学在视频中表示 ， 他制造光刻机的图纸来自自己西安电子科技大学的同学 ， 图纸大概长下图这个亚子 。 彭同学也正是凭借着这张图纸 ， 完整复刻了整台纳米级光刻机 。
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小彭同学拿到图纸第一反应：这不是两台显微镜嘛？
其实早在今年5月 ， 彭同学已经发布了一个半导体光刻教程-1CM工艺教程成果， 目前75μm工艺是在1cm的研究上研究出来的 ， 当时由于时间有限 ， 所以他之前完成了一层 ， 真正量产的芯片不止一层 ， 这里是做一个简单的示范 。 
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在他的其它视频中是有做准备工作的 ， 比如培养单晶硅片， 需要把整个硅片的表面全部用氧化层覆盖 。 光刻掩板也需要小心放置 ， 非常的脆弱 ， 容易直接碎掉 。 Nmos板掩盖部分还需要上胶水 。
目前的研究成果他大概花了半年自己琢磨出来的 ， 最早的兴趣来自高中的时候 ， 那个时候还没有视频和资料 ， 但是他就是想自研芯片 。
并且彭同学也想通过视频给大家证明 ， 环境怎么样不重要 ， 有动手能力和兴趣就足够啦！
专业技术 ， 超低成本 ， 挑战自制光刻机的极限
小彭同学在一段21分钟的快进视频中呈现了自制光刻机的整个过程 。
首先他先自建微纳米平台 ， 两台显微镜加一个激光雕刻机等部件就位 。 雕刻机的功率是500毫瓦 。 由于硅片具有反射性 ， 所以在雕刻时必须要带上护目镜 。
左边这台带屏幕的显微镜还是找同学借的 ， 主要是用来观察实验结果的 。 
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还有悬涂设备 ， 用来悬涂比较大的设备 。 用显微镜改装成微缩光刻机 ， 用普通的镜头先对焦 ， 对焦好以后再用光刻的镜头进行操作 。
光刻镜头是用锡纸改装的 ， 起到散热和遮蔽外泄紫外线的作用 。 连接线加LED紫外灯 ， 大约10瓦的功率 ， 由于紫外线容易对人体造成伤害 ， 所以务必要用锡纸做遮掩 ， 镜头里也需要掩膜以及游标卡尺 ， 黄光灯来配合 。 
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芯片少不了光刻胶这种原料 ， 小彭同学花了不少力气 ， 终于淘到了一小瓶光刻胶（150元） ， 光刻胶的外袋是黑色遮光的 ， 但Bug是装光刻胶的瓶子却是透明的 ， 所以说不能一拿到手就打开 ， 一旦随意打开就容易全部曝光了 ， 最好是在黄光（特定区域）的背景下打开 。 还要把光刻胶进行分装 ， 大概每次3-4ml ， 取胶剂、显影液就准备自己调试一下 。
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