低成本DIY纳米级光刻机!这位95后男生火了…( 二 )


由于光刻胶的瓶子都是日本进口的 , 小彭同学不禁感叹:我们还有很多需要学习的地方 , 比起现有的技术还有很大的距离 。
配置显影液 , 使用袋装的氢氧化钠 , 为什么没有用成品显影液呢?因为小彭同学还是学生 , 预算不够 , 仅有的钱拿去买光刻胶了 , 配上某臣氏的蒸馏水 , 虽然不是链子级别的超纯水和去离子水 , 但是蒸馏水也能凑合 。 经过反复调试 , 配置的显影液的PH值大概在9.3左右 , 需要配置500ml左右 。
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再就是预热加热台 , 110°C , 打开除湿用的净化器 。
仔细阅读光刻胶说明书 。 把玻璃片进行悬涂之前 , 要用氮气除去表面的灰尘 。
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再开始滴一些光刻胶 , 就可以开始悬涂了 。 细节部分也很充分 , 风扇的转数需要达到4000转以上 , 否则达不到效果 。
悬涂完成后放在预热好的加热台上 , 放置时间为90秒 , 过程中最好用锡纸盖上 , 以免灰尘异物落在玻璃片上 。
接下来就可以进行工艺参数的设置 , 速度调成2000左右 , 功率调到40% , 选择点雕刻 , 并选择每mm两个点 , 停留时间为2毫秒 , 全部设置好后 , 开启热光模式 。
然后进行对焦 , 就可以开始光刻了 。
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再拿出刚配好的显影液 , 不要倒太多 , 以免浓度过高 , 没有空间可以稀释以及补充碱液 。
配置妥当后 , 反影就可以开始了 。 玻璃片的表面会有红色物质生成 , 是重新溶解的光刻胶 。
由于是自配的显影液 , 所以在某些参数的位置掌握得不太好 。
显像的位置不是很明显 , 只能看到一片玻色显影 。
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如果要看详细的 , 只能在显微镜下面看 , 有的地方是被腐蚀得不是很好 。 并在中等位列的情况下 , 是可以看到做出来的效果还可以 , 黑影的位置是在刚刚处理得不够充分 , 还缺少一些腐蚀时间 。
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最高分辨率的情况下 , 一个点的结构:
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根据对孔径的测量 , 大概是75μm的直径 。
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网友评论:用最简陋的设备尝试最有趣的事
目前 , 小彭同学的视频已经有了20万的播放量 。 网友们对此评价也相当高 。
有的网友劝小彭同学毕业后直接去上海微电子应聘 , 评论区也有专业人士邀请他一起合作研发 。
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