『』芯源微前道涂胶显影机通过中芯北方验证，国产涂胶显影设备批量走向市场
集微网消息 ， 日前 ， 沈阳芯源微电子设备股份有限公司(下称“芯源微”)生产的前道涂胶显影机 ， 通过了中芯北方的验证 。据沈阳日报报道 ， 这意味着打破国外垄断、填补国内空白的国产涂胶显影设备开始批量走向市场 。
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芯源微由中科院沈阳自动化所于2002年发起创立 ， 主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售 ， 产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机） ， 可用于6英寸及以下单晶圆处理（如LED芯片制造环节）及8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节） 。
4月26日 ， 芯源微发布2019年年度报告 ， 报告披露 ， 芯源微生产的前道涂胶显影设备通过在客户现场的验证与改进 ， 在多个关键技术方面取得突破 ， 技术成果已应用到新产品、新客户 。截至目前 ， 已陆续获得了株洲中车、青岛芯恩、上海积塔、宁波中芯、昆明京东方、厦门士兰等多个前道大客户的订单 。
【『』芯源微前道涂胶显影机通过中芯北方验证，国产涂胶显影设备批量走向市场】据沈阳日报报道 ， 2019年12月16日 ， 芯源微上市科创板 ， 成为辽宁省科创板第一股和中科院第一家科创板上市企业 。（校对/七七）
